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行業(yè)新聞
電子工業(yè)用氣(氨氣、氯化氫、四氟化碳)告別進口
2013-8-19 21:00:41
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我國這幾年在電子信息產業(yè)方面的發(fā)展迅速,在過去的一年里,我國電子信息產業(yè)銷售額突破了十個億,比之前年增幅達到了百分之十五。與此同時帶動了整個電子特種氣體的市場需求量。過去由于我國在氣體生產、儲存、提純方面技術不夠完善,一些電子工業(yè)用氣如:
氨氣
、
四氟化碳
、
氯化氫
都是需要依賴進口的。從我國電子產業(yè)長遠發(fā)展角度出發(fā),我國必須打破氨氣、四氟化碳、氯化氫被國外壟斷的情況。
記者在2013年5月舉辦的特種氣體年會報告中了解得知,廣州市譜源氣體有限公司宣布,經過不懈的努力,公司已經掌握了高純氨氣、高純四氟化碳、高純氯化氫的提純技術,為電子工業(yè)用氣的國有化做出了重要貢獻。
高純氨氣(NH3)是電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體。高純氨氣跟硅烷、高純氬氣(Ar)用于薄膜太陽能電池的制造,也用于LED電子行業(yè)。氨氣具有強腐蝕性和毒性,而且具有刺激性臭味,易溶于水。目前國產高純氨氣已經占到國內市場需求的一大半,相信以后會完全取代國外氣體公司滿足中國在IC、LED、太陽能電池等領域的需求。
高純四氟化碳(CF4) ,目前四氟化碳主要應用于微電子工業(yè)中的等離子蝕刻,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢膜材料的銹蝕。同時也應用于電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷,是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃,揮發(fā)性較高。是最穩(wěn)定的有機化合物之一。據廣州譜源公司特氣部主管透露,目前公司可以生產純度達99.999%的高純四氟化碳,產量基本可以滿足珠江三角洲地區(qū)電子工業(yè)的需求。
高純氯化氫(HCL),主要應用于大規(guī)模集成電路單晶硅片氣相拋光,外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水(遇水是有強腐蝕性)。遇氰化物產生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經可以滿足國內市場的需求。
隨著國內氣體企業(yè)對電子氣體的重視,國內氣體公司在技術方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現(xiàn)出了一批以廣州譜源氣體有限公司為代表的具有創(chuàng)新性和活力的氣體公司。
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