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背壓法氦質(zhì)譜檢漏
2018-9-7 15:11:20
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采用背壓法檢漏時,首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時或數(shù)天,如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔,氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。
優(yōu)點:背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
缺點:背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。
應(yīng)用:背壓法的檢漏主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
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